不同于二維測(cè)量，三維測(cè)量的測(cè)量對(duì)象并非工件表面的一個(gè)截面，而是某個(gè)區(qū)域，因此如仍采用傳統(tǒng)的觸針式檢測(cè)，就必須在m 個(gè)平行的法向面上逐個(gè)進(jìn)行測(cè)量，*終根據(jù)這些采樣結(jié)果進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和評(píng)價(jià)，以反映被測(cè)區(qū)域的表面微觀特征。m 一般需大于100。通過(guò)增添相關(guān)的硬件、軟件，即精密微動(dòng)工作臺(tái)和3D數(shù)據(jù)處理軟件，才能實(shí)現(xiàn)以上過(guò)程。以鋼球表面輪廓為例，由于其造型面乃是圓弧，故實(shí)施檢測(cè)時(shí)需逐個(gè)地分別進(jìn)行，再進(jìn)行分析。

眼下多數(shù)國(guó)內(nèi)企業(yè)還只采用Ra 或Rz，通過(guò)調(diào)研發(fā)現(xiàn)，所設(shè)定 的指標(biāo)值的分散性還比較大，如在以Ra 為評(píng)定參數(shù)時(shí)， 從 Ra0.2、Ra0.3 到Ra1.6、Ra2.0 都有?？梢?jiàn)此時(shí)對(duì)鋼球表面 微觀結(jié)構(gòu)的要求還是較寬松的。如上所述，隨著近年來(lái)產(chǎn)品 結(jié)構(gòu)和工藝的改進(jìn)，對(duì)鋼球的微觀結(jié)構(gòu)要求也在提高。上海曼戈斐光學(xué)使用NanoFocus共聚焦顯微鏡對(duì)通用軸承三維形貌輪廓、各項(xiàng)精密數(shù)據(jù)等做了細(xì)致的檢測(cè)。以下測(cè)量圖均來(lái)自NanoFocus μsurf系列3D激光共聚焦顯微鏡。

未使用過(guò)的鋼球表面輪廓如上圖所示

使用過(guò)的鋼球表面輪廓如上圖所示

將球面拉平測(cè)試表面粗糙度Sa如上圖所示