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3D共聚焦顯微鏡主要功能
3D共聚焦顯微鏡
主要功能
3D共聚焦顯微鏡是一種用于信息與系統(tǒng)科學相關(guān)工程與技術(shù)領域的工藝試驗儀器,于2018年2月20日啟用。
技術(shù)指標
拍攝分辨率不低于700萬像素;Z軸行程:50 mm垂直分辨率:<10nm 水平分辨率: 0.2μm。
主要功能
3D共聚焦顯微鏡用于測量表面物理形貌,進行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等??舍槍θ缦滦枨箝_展測試:(1)檢測對表面磨損,表面粗糙度,表面微結(jié)構(gòu)有要求的精密部件;(2)MEMS,微型器件的檢測,醫(yī)藥工程中組織結(jié)構(gòu)的檢測,如基因芯片等;(3)半導體:檢測微型電子系統(tǒng),封裝及輔助產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設計;(4)太陽能:電池片柵線的3D形貌表征、高寬比測量。
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3D共聚焦顯微鏡的測量原理
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